西安工业大学于1988年开设电子精密机械本科专业，1993年按教育部新专业目录调整为机械电子工程专业，1998年又随教育部专业目录调整合并到机械设计制造及其自动化专业下，作为其中一个研究方向一直以机械电子系沿袭。2013年在新的专业发展和人才培养方案平台下重新按机械电子工程专业开始招生。在多年的专业建设过程中，逐步形成并确立了“面向企业、立足一线”的专业定位，在机械工程大领域下，突出机、光、电有机结合，注重工程实践，培养面向国防工业和中西部自动化、智能化装备制造业的应用型高级工程技术人员。具有有本科、硕士、博士培养资格。

机械电子工程系现有教师33名，其中教授8名，副教授9名，具有博士学位教师16名，其中博士生导师2人，硕士生导师16人，二级教授1人，有机械电子省级教学团队1个，省级精品课程2门。目前本科在校学生总数500余名，硕士和博士研究生80余名。建有机械电子专业基础与专业实验室5个，实验室占地面积近400平方米，用于教学各类仪器设备总价值近350万元。

本专业方向经过多年的积累逐步形成了以精密与超精密加工、精密测量理论与应用、复杂形面成型理论与控制技术、特种机器人等为主的学科研究方向，特别是在齿轮精密测量工艺与装备方面处于国内先进水平。有测控技术研究所、精密工程研究所、机械电子与信息技术研究所、新能源研究所等4个科研团队，近3年年均科研经费超过1000万元。